LES FICHES TECHNIQUES Plasmas et Micro-Ondes, un couple inséparable Cahiers de l'Innovation - Juin 97

Quantité de secteurs industriels sont concernés par ce type de technologies et le savoir-faire de MES est reconnu par de nombreuses entreprises, parmi lesquelles France Telecom, la Snecma, Citroën, le CNRS.

Sur le site de Fresnes, MES développe et fabrique des équipements pour les applications industrielles des micro-ondes. Cette technologie concerne de très nombreux secteurs d'activités, comme l'agro-alimentaire (pour les traitements thermiques : décongélation, pasteurisation, tempérage, cuisson etc) et le secteur hospitalier (pour le traitement des déchets, où les bactéries sont détruites par un procédé thermique avant mise en décharge).

En 1995, MES a repris l'activité d'une société implantée en Bretagne à Trégastel, et spécialisée dans les plasmas. Une reprise stratégique à double titre : d'abord parce que les plasmas sont une technologie complémentaire aux micro-ondes. De plus, 30 % du chiffre d'affaires de MES est réalisé dans le grand Ouest.

Les plasmas micro-ondes sont d'un point de vue technologique, promis à un bel avenir car les techniques de traitement de surfaces doivent répondre aujourd'hui à de nombreuses exigences. Elles doivent être en mesure d'apporter de nouvelles propriétés au matériau initial, d'en modifier les caractéristiques si nécessaire, de s’adapter aux nouvelles contraintes (notamment en terme d'environnement), d'être compatible à de nouveaux types de matériaux, etc.

Les plasmas micro-ondes, particulièrement bien adaptés à ces contraintes, deviennent pour les industriels, une solution performante pour le traitement des matériaux.

Pièces en traitement ICMC

De plus, MES est une société française agréée Société de recherche sous contrat dans le domaine des micro-ondes. Ce label européen, qu'elle est seule en Europe à avoir dans ce domaine, traduit son savoir-faire en recherche et développement aussi bien dans la technologie des plasmas que des micro-ondes.

Les ingénieurs de MES interviennent auprès des entreprises pour deux types d'actions : la recherche et développement sous contrat d'études et la fabrication d'équipements spécifiques, allant du prototype à la petite série industrielle.

Certains programmes de recherche sont réalisés en étroite collaboration avec des centres de recherche européens et des organismes universitaires, pour faire évoluer en permanence les technologies plasmas et micro-ondes et leurs procédés. Ce qui permet à MES d'offrir aux entreprises clientes une solution technologique optimale.

Quant à la fabrication d'équipements, certaines réalisations sont faites en partenariat avec un équipementier pour offrir aux industriels une solution clé en main.

Sur le site de Trégastel, en Bretagne, l'activité plasmas micro-ondes est orientée vers les traitements de surfaces : couche barrière, activation de surface, synthèse et dépôts de matériaux, gravure réactive, nettoyage pour des secteurs industriels comme la plasturgie, l'optronique, la micro-électronique, l'optique, etc,

Plus globalement les solutions techniques offertes par MES dans le domaine des plasmas micro-ondes sont :

- les applications plasma à basse pression pouvant associer plusieurs technologies : micro-ondes, polarisation radio fréquence, haute fréquence, chauffage.

- les applications plasma à la pression atmosphérique pour le traitement thermique ou la préparation de surface.

L'offre technologique des plasmas à basse pression s'appuie sur la maîtrise technique, tant sur le plan du calcul des structures que sur celui des réalisations. Ce qui permet à MES de proposer des coupleurs d'une très grande dynamique de fonctionnement : de quelques dizaines de microbar à quelques mbar et de quelques dizaines de Watts à quelques kW micro-ondes couplés.

Equipement plasmas micro-ondes (ICMC)

Deux coupleurs standards 4 et 10 pouces sont disponibles. Ces sources sont actuellement utilisées en micro-électronique, en traitement des polymères, en élaboration des couches barrières, et en optique et optronique.