LES FICHES TECHNIQUES La maitrise des plasmas pour l'industrie Cahiers de l'Innovation - Juin 97

L'équipement de ce laboratoire comprend notamment différents réacteurs de décharges basse fréquence, radio fréquence et micro-ondes, ainsi que des réacteurs de décharge basse fréquence (luminescente) à la pression atmosphérique, et des appareils de spectroscopie infrarouge du plasma. Pour mener à bien ses recherches, le LGET a développé un système de modélisation des procédés permettant d'optimiser les paramètres de configuration des réacteurs en fonction des applications étudiées.

Le laboratoire travaille principalement sur l'étude des propriétés électriques des isolants et des céramiques ainsi que sur l'étude des décharges et des procédés plasmas. De par l'expérience acquise dans ces domaines, le LGET est en mesure de travailler avec des industriels tant dans le domaine du génie électrique sur les varistances (Soulé, EDF), que celui des moteurs avec Leroy Somer, ou des câbliers comme Pirelli. Dans le domaine des procédés plasmas, le LGET oriente ses travaux de recherche sur le traitement de surfaces des polymères pour Air Liquide ou ELF et développe des collaborations dans l'industrie électronique avec Motorola, France Telecom…

Le LGET s'affirme aujourd'hui comme un des principaux centres de compétences en procédés plasmas basse pression, grâce à sa maîtrise de la décharge électrique et sa connaissance des propriétés des matériaux isolants.

Le LGET est ainsi un partenaire d'EDF pour les parafoudres et appareils de coupure. Pour les industriels des secteurs de la plasturgie, de l'électronique ou de la métallurgie, le LGET se livre à des recherches appliquées sur les traitements, les dépôts et la gravure par plasma appliqués aux composants pour la micro-électronique, les dépôts anticorrosion ou les films barrières. Plusieurs voies de recherche explorées par le LGET touchent de près aux évolutions des procédés industriels. Le traitement de surfaces des polymères par décharges froides haute pression en est un exemple. Il s'agit d'une alternative aux traitements chimiques car elles ne produisent pas d'effluents, leur coût est acceptable et elles sont faciles à mettre en œuvre sur une ligne de production.

Réacteur micro-ondes multipolaire

Les activités de l'équipe de recherche du LGET concenent également les techniques plasma désormais très utilisées dons des domaines divers : électronique, génie électrique, mécanique, optique, industrie de l'emballage, industrie des polymères, etc. Elles procurent à une surface des qualités telle que la " mouillabiliré" ou permettent la dépose d'un film aux propriétés physiques déterminées : diélectrique, barrière, dureté, anticorrosion. Les études réalisées sur ce thème ont pour objectif le développement des procédés qui deviennent de plus en plus compétitifs par rapport à des procédés traditionnels.

Ces nouvelles techniques offrent au monde industriel des procédés propres, évitant le rejet massif de polluants chimiques généralement produits par les procédés classiques.

Le LGET oriente ainsi ses recherches vers des secteurs d'applications divers dans le souci d'apporter une réponse à la demande industrielle présente et future tout en gardant la rigueur de l'approche théorique nécessaire à toute bonne recherche en laboratoire.

Réacteur PECVD radio fréquence

Grâce à d'importants moyens de diagnostic, le LGET procède à des analyses visant tout à la fois à mener une activité scientifique fondamentale dans la compréhension des processus intervenant dons les plasmas et d'acquérir les connaissances nécessaires à la détermination des paramètres intervenant dons la maîtrise du procédé. A cet égard, une des clés du développement des technologies plasma pour le traitement de surfaces et le dépôt concernant l'ingénierie des réacteurs, est la recherche de modélisation permettant de juger la validité de certaines hypothèses théoriques et d'en envisager de nouvelles, plus appropriées à la confrontation modèle/expérience.